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　　中证网讯（王珞）10月23日，2023年度上海市科学工夫奖励大会在上海展览中心举行，深广犒赏为国度、为上海科技奇迹和当代化诱导作出超越孝顺的科技责任者。万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）聚拢重心期骗企业共同完成的“离子注入机工夫与期骗产业化”技俩荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总司理、首席工夫官夏世伟当作技俩第一完成东说念主出席大会并登台领奖。

　　凯世通秉合手自主翻新的研发理念，竭力于好意思满离子注入神秘津工夫自主可控。这次获奖技俩所研发的顽劣大束流离子注入机系列诱导是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢诱导，诱导性能与自由性弘扬超卓，好意思满了集成电路时弊装备产业化冲破。

　　针对离子注入骨子坐蓐经由中亟需冲破的要津工程工夫问题，凯世通翻新构建了包括基础洽商和期骗工夫在内的“通用平台+要津工夫模块+系统集成+期骗工夫”齐全工夫体系，形成了一系列高价值的自主常识产权恶果，包括成效责罚了芯片制造中顽劣量条目下的超大剂量注入问题，裁减了制形资本；完成了颗粒稠浊泉源截止工夫，大幅提高了良率，赢得热切工艺冲破等。现在凯世通已打造出多款离子注入机标杆技俩，在国内主流12英寸晶圆厂好意思满了产业化并成绩了批量重叠订单。跟着产业化进度加速，凯世通合手续晋升产能，增强职业客户智力。

　　东说念主才是引颈发展的第一资源，翻新是鼓励科技进步的握住能源。凯世通打造了一支武艺精粹、敢于翻新的工夫研发团队，禁受“来源一步”的研发计策，继续攻坚克难，鼓励工夫翻新与居品迭代。夏世伟暗意，这次获奖是凯世通研发团队繁难付出、合手续拼搏的落幕，凯世通坚合手正向诡计、翻新冲破，精采迷惑天下前沿科技与产业需求，合手续翻新鼓励离子注入机原创性、引颈性科技攻关，继续强化工夫上风，合手续为客户提供性能超卓、自由可靠、降本增效的先进诱导和工艺责罚决策，辛勤职业国度集成电路产业高质料发展。

　　面向改日，凯世通将连续秉合手锐意跨越、勇登攀峰的决心，铁心栽种发展新质坐蓐力，合手续久了工夫翻新与产业升级足球投注app，助力上海科技翻新中心诱导，继续为好意思满高水平科技自立自立作念出更大孝顺。